氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用

真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备,热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。

真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(ICP,RIE,PECVD),热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。氦质谱检漏仪现已广泛应用于半导体设备检漏。

1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。

安徽博为光电科技有限公司是一家专注于氦检技术的研发、生产及销售的专业供应商。为了开发出真正适合企业需求的氦气检漏设备,公司紧密跟踪氦检方面的技术和行业发展特点,不断优化行业技术,特别是在产品研发、设计制造、选型工艺的全过程严格按照国标行标,同时,设备兼容性与升级换代的可维护性高,模块化制造、标准化工艺,可保障10年开机率98%以上,令客户得到最优质的服务和最好的投资回报。返回搜狐,查看更多

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